Sumber penguapan berkas elektron elektroplating tabung pemanas listrik

Sumber penguapan berkas elektron elektroplating tabung pemanas listrik

Menempatkan bahan yang diuapkan ke dalam wadah tembaga berpendingin air dan langsung memanaskannya dengan berkas elektron disebut metode pemanasan berkas elektron. Sumber emisi elektronik biasanya menggunakan katoda tungsten panas, dengan voltase percepatan elektron 5-10KV, arus beberapa ratus miliampere, dan daya 1-6KW. Pelapisan penguapan pemanas berkas elektron memiliki karakteristik sebagai berikut:

1. Panas dapat langsung diterapkan pada bahan yang menguap.

2. Wadah untuk menyimpan bahan evaporasi bisa menjadi dingin, yang mencegah wadah berpartisipasi dalam reaksi dan penguapan bahan wadah yang tidak perlu.

3. Dapat menguapkan logam suhu tinggi seperti tantalum dan tungsten. Namun, metode penguapan pemanasan berkas elektron memiliki kekurangan seperti peralatan yang kompleks, ionisasi parsial molekul gas sisa dan uap material yang diuapkan oleh elektron, dan dekomposisi sebagian sebagian besar senyawa karena pemboman elektron.

Sumber penguapan pemanas induksi frekuensi tinggi

Tempatkan bahan pelapis dan wadah ke dalam koil induksi frekuensi tinggi untuk pemanasan induksi frekuensi tinggi, biarkan bahan pelapis di wadah menguap. Metode ini terutama digunakan untuk pelapisan aluminium. Jika bahan pelapis tidak konduktif, wadah dapat dibuat dari bahan konduktif. Metode pemanasan dan penguapan ini ditandai dengan efisiensi pemanasan yang tinggi, penguapan yang besar dan peralatan yang sederhana, sehingga telah diterapkan di industri.

Lapisan film

（1） Pelapisan film paduan

Jika paduan akan disimpan, komposisi yang seragam harus diperoleh di seluruh permukaan substrat dan rentang ketebalan film. Ada dua metode dasar: pelapisan penguapan flash dan pelapisan penguapan multi-sumber.

Metode pelapisan penguapan flash adalah membuat paduan menjadi bubuk atau partikel halus, dan menempatkannya di sumber penguapan seperti pemanas dan krus yang dapat mempertahankan suhu tinggi, sehingga setiap partikel menguap sepenuhnya dalam sekejap.

Metode pelapisan penguapan sumber multi-evaporasi digunakan untuk menghasilkan lapisan paduan yang terdiri dari beberapa elemen, yang ditempatkan dalam cawan lebur terpisah. Jumlah cawan lebur ditentukan oleh jumlah elemen paduan. Kemudian secara mandiri mengontrol penguapan sumber penguapan di mana masing-masing wadah berada, dan mencoba membuat berbagai atom yang tiba di substrat sesuai dengan komposisi pelapis yang diperlukan.

www.superbheater.com