Penjelasan Teknologi Kalibrasi Suhu pada Termometer Tungku Annealing Suhu Tinggi

Dilaporkan bahwa tungku anil suhu tinggi mengadopsi sistem kontrol loop tertutup yang terdiri dari pengontrol suhu PLD digital yang dipercepat, termokopel, pirometer, dan sumber panas untuk mengontrol suhu dengan benar. Dengan kontrol kolaboratif lampu halogen di berbagai wilayah, perbedaan suhu di setiap wilayah dapat dikompensasi selama proses kontrol suhu, sehingga suhu berbagai wilayah pada media tidak berubah. Karena pemasangannya di bagian bawah rongga, pirometer hanya dapat menerima radiasi dari bagian belakang substrat dan tidak dapat menerima radiasi dari lampu. Oleh karena itu, pirometer dapat mengukur suhu substrat secara akurat. Prinsip kalibrasi suhu pirometer ini adalah sebagai berikut:
1. Pengantar Pirometer:
Pirometer yang diperkenalkan dalam artikel ini adalah pirometer optik radiasi termal. Ketika pirometer menerima radiasi infra merah dari objek yang diukur, sinyal optik disaring, diubah fotolistrik, dan diperkuat menjadi sinyal analog, yang kemudian ditransmisikan ke modul rangkaian antarmuka sinyal sensor. Modul ini melakukan konversi A/D pada sinyal dan mengubahnya menjadi sinyal digital yang dapat dikenali oleh komputer. Sinyal digital yang diumpankan kembali ke komputer disebut sebagai nilai umpan balik pirometer dalam teks berikut.
2. Tabel kalibrasi suhu:
Menurut hukum yang relevan, suhu suatu benda berhubungan dengan radiasi dan emisivitas spektralnya. Untuk tungku anil suhu tinggi, jumlah radiasi yang diterima pirometer terutama bergantung pada faktor-faktor seperti bahan substrat, doping, lapisan oksida alami di permukaan, dan suhu substrat. Untuk jenis substrat yang sama (yaitu substrat dengan bahan, doping, dan lapisan oksida alami permukaan yang sama), jumlah radiasi yang diterima pirometer berhubungan dengan suhu substrat. Oleh karena itu, untuk jenis substrat yang sama, nilai umpan balik pirometer bersesuaian satu-satu dengan suhu substrat. Korespondensi ini merupakan data kalibrasi suhu, dan tabel kalibrasi suhu digunakan untuk menyimpan data hubungan antara beberapa suhu media dan nilai umpan balik dari pirometer. Suhu yang berbeda sesuai dengan nilai umpan balik pirometer yang berbeda. Komputer tungku anil suhu tinggi dapat menghitung suhu sebenarnya substrat berdasarkan umpan balik nilai sinyal dari pirometer dan tabel kalibrasi suhu.