Menyelesaikan dan mematikan tungku kristal tunggal:

Menyelesaikan dan mematikan tungku kristal tunggal:

Ketika kristal tunggal ditarik ke ekor, akhirnya dimulai. Ketika diameter kristal tunggal mencapai Φ10-80mm, zona leleh akan terpisah. Pada saat ini, poros bawah terus bergerak ke bawah, dan poros atas berubah bergerak ke atas, sementara daya tetap pada 40± 10%, mendinginkan kristal secara perlahan. Perangkat pertumbuhan kristal tunggal Czochralski termasuk dalam bidang teknis peralatan pertumbuhan semikonduktor. Ini mencakup sistem servo hidrolik untuk menyesuaikan batang wadah; di unit kontrol pemanas, transformator keseimbangan tiga fase, kapasitor filter, reaktor dan resistor digabungkan dan dihubungkan secara paralel dengan sumber harmonik; ia juga memiliki perangkat pengisian gas frekuensi variabel. Penemuan ini mengatasi ketidakmampuan perangkat penggerak pengangkat poros wadah yang ada untuk secara efektif menjamin stabilitas pengendalian produksi dan akurasi yang tidak memadai, mengatasi ketidakmampuan unit kontrol pemanas yang ada untuk menghilangkan harmonik, dan juga mengatasi perangkat penggerak pengangkat poros wadah yang ada. tidak dapat secara efektif menjamin stabilitas pengendalian produksi dan keakuratannya tidak mencukupi.

Putar tungku kristal tunggal, tahan dan lepaskan klem:

Jika diameter bahu yang melebar berbeda dengan diameter penahan kristal tunggal sebesar 3-20mm, kecepatan perluasan bahu harus diperlambat, dan bahu harus diputar hingga diameter yang diperlukan tercapai. Kristal tunggal dipertahankan. Isodiameter dipertahankan pada 75mm-220mm, dan kristal tunggal tumbuh. Kecepatannya adalah 1 mm/mnt-5mm/mnt. Selama proses perluasan bahu, bila jarak antara pin dudukan kristal tunggal di bahu kristal tunggal kurang dari 2mm, dudukan akan dilepaskan dan kristal tunggal akan dijepit;

Perluasan bahu tungku kristal tunggal dan pengisian nitrogen:

Setelah leher tumbuh, lebarkan bahu, perlahan kurangi kecepatan bawah menjadi 3±2mm/menit, bersamaan dengan peningkatan diameter bahu yang melebar, terus turunkan dan turunkan menjadi 8±4rpm, dan perlahan kurangi dan putar hingga 1± 0.5rpm; Untuk mencegah ionisasi tekanan tinggi, sejumlah nitrogen diisi dalam atmosfer pelindung argon, dan rasio pencampuran nitrogen adalah 00,01% hingga 5% dari argon;

www.superbheater.com