Konsentrasi lokal arus dalam mesin pelapis vakum

Konsentrasi lokal arus dalam mesin pelapis vakum

Bagian yang dikeluarkan dari titik kerapatan elektron tinggi akan menghasilkan arus dengan kerapatan tinggi, dan arus dengan kerapatan tinggi dapat menghasilkan panas Joule dan membuat suhu titik tersebut terus meningkat, memancarkan elektron panas. Fenomena ini menghasilkan konsentrasi arus lokal.

Panas Joule yang dihasilkan oleh konsentrasi lokal arus dapat menginduksi emisi ion dan elektron masif dari bahan katoda, melepaskan partikel bahan katoda cair dan meninggalkan jejak pelepasan.

Sebagian ion dalam sejumlah besar ion yang dikeluarkan akan tersedot kembali ke permukaan bahan katoda untuk meregenerasi lapisan muatan ruang dan medan listrik yang kuat, dan titik yang baru dihasilkan dengan fungsi kerja kecil akan mulai memancarkan elektron lagi .

Elektron dipancarkan dari batas butir pelapis vakum

Ion logam tertarik ke permukaan katoda dan dapat menghasilkan lapisan muatan ruang. Medan listrik yang kuat yang dipicu selama ini menyebabkan elektron terlontar dari retakan mikro atau batas butir dengan fungsi kerja kecil pada permukaan katoda.

Dinding bagian dalam vakum dan anoda sumber target dari mesin pelapis vakum

Setelah banyak tumbukan, energi elektron berangsur-angsur berkurang, menghilangkan belenggu garis medan magnet, dan akhirnya jatuh ke substrat, dinding bagian dalam ruang vakum, dan anoda sumber target. Di bawah percepatan medan listrik tegangan tinggi, ion Ar plus bertabrakan dengan target dan melepaskan energi, menyebabkan atom pada permukaan target menyerap energi kinetik ion Ar plus dan melepaskan diri dari kisi asli, dan atom target netral lepas dari permukaan target. Terbang ke substrat dan simpan lapisan tipis pada substrat.

www.superbheater.com