Parameter Penyesuaian Sputtering Magnetron dari Vacuum Coater

Parameter Penyesuaian Sputtering Magnetron dari Vacuum Coater

Aplikasi luas peralatan pelapis sputtering magnetron ditentukan oleh karakteristik teknologinya, yang dapat diringkas sebagai berikut: berbagai bahan yang dapat disiapkan menjadi target dapat digunakan sebagai bahan film tipis, termasuk berbagai logam, semikonduktor, bahan bahan feromagnetik, serta isolasi oksida, keramik, polimer, dll.

Selain itu, parameter penyesuaian sputtering magnetron dapat menyesuaikan kinerja film, terutama cocok untuk pelapisan area besar, dan area pengendapan lebih seragam.

Impedansi plasma sputtering magnetron pelapis vakum rendah

Peralatan pelapis sputtering magnetron dapat menyiapkan berbagai film tipis, film tipis dengan fungsi berbeda, dan juga dapat menyimpan campuran dan menggabungkan film tipis dengan komponen campuran; impedansi plasma sputtering magnetron rendah, menghasilkan arus pelepasan yang tinggi, pada tegangan sekitar 500V Arus pelepasan dapat dari 1A hingga 100A (tergantung pada panjang katoda); laju pembentukan film tinggi, dan laju pengendapan dapat diubah dari 1nm/dtk menjadi 10nm/dtk; konsistensi pembentukan film baik, bahkan di katoda beberapa meter panjang Dalam kasus sputtering, konsistensi lapisan film masih dapat dipastikan; kenaikan suhu substrat rendah; energi partikel tergagap sekitar puluhan elektron volt, pembentukan film relatif padat, dan basis film terikat dengan baik.

Suhu pemanasan peralatan mesin pelapis vakum terlalu tinggi:

Karena kekuatan pemanas pompa difusi tidak sesuai dengan daya pengenalnya, terlalu tinggi, menghasilkan uap dalam jumlah besar, yang dapat menyebabkan minyak kembali, dan dapat diatasi dengan mengganti kawat tungku listrik.

Saluran air pendingin mesin pelapis vakum tidak lancar atau tekanan air tidak cukup:

Akibatnya kapasitas pendinginan berkurang, bagian atas pompa difusi menjadi panas, dan uap oli tidak dapat dicairkan dengan baik. Solusinya adalah menghubungkan pipa saluran masuk pompa difusi dengan sumber udara 4mpa untuk meniup timbangan, dan pipa saluran keluar juga dihembuskan pada 4mpa. Jika kerak sangat kental dan keras, asam klorida encer dapat dimasukkan. Atau ganti pompa difusi.

www.superbheater.com