Prosedur pengoperasian mesin pelapis vakum

Prosedur pengoperasian mesin pelapis vakum

 

① Periksa apakah setiap sakelar kontrol pengoperasian mesin pelapis vakum dalam posisi "mati".

 

② Hidupkan sakelar daya utama, dan peralatan dihidupkan.

 

③ Tarik keluar katup tekanan rendah. Buka katup inflasi, setelah suara aliran udara tidak terdengar, mulai katup bel, dan bel naik.

 

④ Pasang dan perbaiki pemanas spiral tungsten. Pasang film PVDF dan penutup aluminium pada disk yang berputar. Masukkan kawat aluminium ke dalam pemanas heliks. Bersihkan semua bagian tabung lonceng untuk memastikan tidak ada kotoran.

 

⑤ Jatuhkan stoples.

 

⑥ Nyalakan pompa mekanis vakum.

Mesin Vacuum Coating Sputtering Coating

 

Ada banyak jenis pelapis sputtering. Secara umum, perbedaan dari pelapisan penguapan adalah bahwa laju sputtering akan menjadi salah satu parameter utama.

 

Untuk lapisan sputtering laser pada lapisan sputtering, keseragaman komposisi mudah dipertahankan, tetapi keseragaman ketebalan pada skala atom relatif buruk (karena sputtering pulsa), dan kontrol pertumbuhan orientasi kristal (tepi luar) juga relatif umum.

Keseragaman kristal dari mesin pelapis vakum:

 

1. Pertandingan kisi

 

2. suhu substrat

 

3. Laju penguapan

Keseragaman komponen mesin pelapis vakum:

 

Keseragaman komponen lapisan evaporasi tidak mudah untuk dijamin, dan faktor spesifik yang dapat disesuaikan sama seperti di atas, namun karena keterbatasan prinsip, keseragaman komponen lapisan evaporasi kurang baik. untuk lapisan non-komponen tunggal.

Keseragaman ketebalan pelapis vakum terutama tergantung pada:

 

1. Tingkat pencocokan kisi antara bahan substrat dan bahan target

 

2. Suhu permukaan substrat

 

3. Daya penguapan, laju

 

4. Gelar vakum

 

5. Waktu dan ketebalan pelapisan.

www.superbheater.com