Tindakan pencegahan untuk menggunakan tungku annealing cepat RTP geser
Tinggalkan pesan
1, persiapan sebelum operasi
Inspeksi Peralatan
Konfirmasikan bahwa level air sistem pendingin (seperti chiller) normal dan dapat bersirkulasi untuk menghindari kerusakan suhu tinggi pada peralatan .
Periksa tingkat oli sistem pemeliharaan vakum untuk memastikan bahwa gelar vakum memenuhi standar (seperti kurang dari atau sama dengan 10 ⁻ ³ pa) .
Verifikasi apakah tekanan gas (nitrogen, hidrogen, dll .) memenuhi persyaratan untuk menghindari kegagalan eksperimental atau bahaya yang disebabkan oleh tekanan gas abnormal .
Setelah penggunaan pertama atau tidak digunakannya jangka panjang, perlu dipanggang pada 120 derajat selama 1 jam dan 300 derajat selama 2 jam untuk mencegah retak tungku .
persiapan sampel
Sampel harus ditempatkan di tengah pemegang sampel untuk memastikan bahwa kawat termokopel dimasukkan dengan benar ke dalam lubang dan menghindari deviasi penginderaan suhu .
Hindari kelebihan beban atau kelebihan beban untuk mencegah peralatan kelebihan beban dan menyebabkan kerusakan .
2, operasi standar
Kontrol kenaikan suhu
Start-up tungku dingin: Laju pemanasan di bagian suhu rendah tidak boleh terlalu cepat (seperti kurang dari atau sama dengan 10 derajat /s) untuk menghindari penyerapan panas yang tidak merata di tungku dan retak .
Batas suhu tinggi: Suhu tungku tidak boleh melebihi nilai pengenal (seperti 3 menit pada 1000 derajat dan 60 detik pada 1200 derajat) untuk mencegah kerusakan elemen pemanas atau lapisan tungku .
Pengeditan program: Tetapkan program kenaikan suhu, isolasi, dan pendinginan melalui perangkat lunak untuk memastikan bahwa kurva suhu memenuhi persyaratan material (seperti anil nitrogen pada 400 derajat selama 5 menit) .
Kontrol kekosongan dan atmosfer
Setelah menyedot debu ke tekanan target (seperti 0 . 01Pa), gas pelindung seperti nitrogen dan hidrogen diperkenalkan sesuai dengan persyaratan proses.
Saat derajat vakum berkurang, periksa penyegelan cincin silikon tahan panas atau flensa, dan ganti atau instal ulang jika perlu .
Kontrol pendingin
Badan tungku geser mencapai pendinginan cepat: Setelah tungku dipanaskan ke suhu yang ditetapkan, secara otomatis bergerak ke area sampel, dan gas pendingin secara langsung diterbangkan ke permukaan sampel (seperti secara otomatis mematikan gas saat pendinginan dengan cepat hingga 70 derajat) .
Hindari mengeluarkan rak baki pada suhu tinggi untuk mencegah luka bakar atau kerusakan peralatan .
3, pemeliharaan operasi pasca
Pembersihan dan pemeliharaan
Jangan menuangkan cairan atau larut logam ke dalam tungku dan menjaga tungku tetap bersih .
Bersihkan debu dan kotoran secara teratur untuk menghindari mempengaruhi efek anil dan lifespan peralatan .
Inspeksi Komponen
Periksa secara teratur apakah titik koneksi elemen pemanas dikencangkan untuk mencegah fluktuasi suhu yang disebabkan oleh kontak yang buruk .
Verifikasi keakuratan komponen pengukuran suhu seperti termokopel dan pirometer untuk memastikan presisi kontrol suhu (e . g . ± 5 derajat) .
Proses shutdown
Setelah suhu tungku turun di bawah 100 derajat, matikan perangkat pendingin dan sistem vakum .
Tutup katup gas dan catu daya utama untuk menghindari kerusakan peralatan yang disebabkan oleh operasi proses terbalik .
4, tindakan pencegahan keselamatan
perlindungan suhu tinggi
Jangan buka pintu tungku saat suhu tungku lebih besar dari atau sama dengan 300 derajat untuk mencegah luka bakar atau retak tungku .
Kenakan sarung tangan pelindung saat mengambil dan menempatkan sampel untuk menghindari kontak langsung dengan komponen suhu tinggi .
Keamanan gas
Saat menggunakan gas yang mudah terbakar seperti hidrogen, pastikan penyegelan jalur gas untuk mencegah kebocoran dan ledakan .
Saat gas atau alarm air pendingin terjadi, segera hentikan operasi dan periksa sistem .
Perawatan darurat
Saat program terganggu dan ruang tersebut pada suhu tinggi, pendinginan manual atau pengeditan program pendingin diperlukan sebelum operasi .
Saat menemukan alarm yang tidak diketahui, hubungi administrator dan jangan menanganinya tanpa otorisasi .






