Miniaturisasi sensor dan teknologi chip
Tinggalkan pesan
Sistem mikro-elektromekanis (MEMS) adalah sistem mikro atau perangkat yang mengintegrasikan mekanisme mikro, sensor mikro, aktuator mikro, sirkuit kontrol, pemrosesan sinyal, komunikasi, antarmuka, catu daya, dll. Ini adalah teknologi untuk merancang, pemrosesan, pembuatan, mengukur dan mengendalikan material micro/nano.
Teknologi MEMS meliputi: Teknologi micromachining silikon, etsa ion reaktif dalam, teknologi Liga, teknologi perakitan molekuler, micromachining curah, micromachining permukaan, laser micromachining dan teknologi pengemasan mikro.
Teknologi micromachining silikon adalah teknologi utama MEMS. Ini adalah teknologi pemrosesan tiga dimensi presisi. Ini adalah teknologi untuk mengembangkan sensor, aktuator mikro, aktuator mikro, dan sistem mikro-mekanis. Ini telah berhasil digunakan untuk memproduksi berbagai sensor mikro dan array elemen sensitif multi-fungsional. Seperti sensor kapasitif mikro-silikon, sensor aliran massa mikro-silikon, sensor dinamis dan sensor mikro untuk aerospace, tekanan otomotif dan sensor akselerasi, sensor mikro-kimia perlindungan lingkungan, dll.
Teknologi integrasi array sensor dan komposit parameter multi-penginderaan
Integrasi mengacu pada integrasi beberapa fungsi penginderaan dengan pemrosesan data, penyimpanan, komunikasi dua arah, dll seperti tekanan, tekanan statis, sensor tiga variabel suhu; tekanan udara, gaya angin, suhu, sensor empat variabel kelembaban; Sensor tekanan dan sensor tekanan mikro silikon dan sensor array, dll., Semua menggunakan teknologi integrasi. Proses integrasi dan mikrostruktur komposit multi-variabel Mikrostruktur Proses manufaktur terintegrasi, seperti tekanan, tekanan statis, sensor tiga variabel suhu, tekanan udara, gaya angin, suhu, sensor empat variabel kelembaban, sensor tekanan regangan komposit silikon mikro, sensor array.
Ada dua jenis integrasi sensor: satu adalah untuk membangun beberapa modul sensor pada chip melalui teknologi mikro-machining untuk membentuk sensor linier (seperti sensor gambar CCD); Yang lainnya adalah membuat komponen sensitif dengan fungsi yang berbeda pada chip silikon yang sama untuk membuat sensor multifungsi terintegrasi dengan integrasi tinggi, ukuran kecil, dan kompensasi dan koreksi yang mudah.
