Struktur dan Properti Film Tipis TiCN Disiapkan oleh Vacuum Silver Sputtering

Struktur dan Properti Film Tipis TiCN Disiapkan oleh Vacuum Silver Sputtering

Film tipis TiCN disiapkan pada substrat baja berkecepatan tinggi M2 dengan target grafit co-sputtering dan target titanium di bawah atmosfer campuran nitrogen dan argon. Kekerasan film tipis TiCN terdeteksi, dan metode indentasi dan metode gores digunakan untuk mengevaluasi keadaan ikatan film tipis dan substrat. Uji pemotongan tap film tipis TiCN dilakukan untuk menyelidiki daya tahan film tipis TiCN. Hasil menunjukkan bahwa atom C dalam film TiCN ada dalam bentuk larutan padat dalam kisi TiN, orientasi film TiCN pada bidang kristal (111) secara signifikan lebih lemah daripada film TiN, dan fraktur film TiCN adalah struktur balok yang panjang, dan dimensi lateralnya lebih besar dari film TiN. Filmnya kecil, dan permukaan film TiCN tidak rata. Kekuatan ikatan antara film TiCN dan substrat sekitar 40N. Atom C dalam film TiCN memiliki efek penguatan larutan padat dan penguatan penghalusan butir. Kekerasan film TiCN meningkat dari 20,3 menjadi 33,4GPa dari film TiN. Film TiCN memiliki sifat anti-gesekan yang baik, dan masa pakai tap film TiCN saat mengetuk bahan 40Cr secara signifikan lebih lama daripada tap film TiN dan tap yang tidak dilapisi.

Langkah-langkah deteksi kebocoran pelapisan perak vakum

1. Periksa gambarnya. Memahami struktur dan peralatan material dari bagian-bagian peralatan yang akan diperiksa dan seluruh peralatan, tingkat pemrosesan dan teknologi peralatan dan proses perakitan seluruh mesin, tempat di mana kebocoran perlu diperiksa, penggunaan pengguna persyaratan, dan standar untuk kebocoran distribusi dan kebocoran total. , Apakah ada ruang mati, apakah ada bahan yang rawan bocor, apakah digunakan proses pembuatan yang rawan bocor, dll.

2. Menurut standar tingkat kebocoran maksimum yang diijinkan dan persyaratan yang berbeda apakah perlu untuk menemukan lokasi spesifik kebocoran, dikombinasikan dengan prinsip ekonomi, kecepatan dan keandalan, pilih alat pendeteksi kebocoran, metode dan peralatan tambahan yang diperlukan , dan Mengembangkan program pendeteksi kebocoran vakum.

3. Bersihkan bagian-bagian peralatan vakum yang akan diperiksa. Hapus terak las dan minyak, lalu bersihkan. Setelah dibersihkan, bagian peralatan vakum yang akan diperiksa harus dikeringkan. Untuk bagian kecil dengan persyaratan tinggi, harus dibersihkan dan kemudian dipanggang.

4. Kalibrasi sensitivitas pendeteksian kebocoran dari metode pendeteksian kebocoran dan peralatan pendeteksi kebocoran yang digunakan dalam peralatan pelapis vakum, dan tentukan waktu respons alat pendeteksi kebocoran.

5. Dalam hal metode pendeteksian kebocoran vakum, untuk meningkatkan sensitivitas pendeteksian kebocoran dari alat pendeteksi kebocoran, bagian peralatan yang akan diuji harus dipompa ke tingkat vakum yang lebih tinggi, dan bila perlu, memanggang dan degassing dapat dilakukan. berurusan dengan.

6. Karena tingginya harga peralatan dan gas helium yang digunakan dalam metode deteksi kebocoran spektrometri massa helium, metode atau perangkat deteksi kebocoran lain yang lebih ekonomis harus digunakan sebanyak mungkin.

7. Dalam hal mesin pelapis ion menggunakan detektor kebocoran spektrometer massa helium untuk deteksi kebocoran, beberapa bagian yang akan diperiksa yang tidak memerlukan sensitivitas deteksi kebocoran yang tinggi atau memiliki lubang kebocoran yang besar pada peralatan dapat digunakan pada tahap awal deteksi kebocoran. Deteksi kebocoran pendahuluan dengan helium untuk menghemat penggunaan helium.

8. Setelah memperbaiki celah besar yang terdeteksi, periksa celah kecil pada peralatan.

9. Semua kebocoran yang terdeteksi oleh peralatan pelapis ion vakum harus diperiksa ulang.

www.superbheater.com