Persyaratan teknis untuk peralatan pelapis vakum untuk tabung pemanas listrik elektroplating

Persyaratan teknis untuk peralatan pelapis vakum untuk tabung pemanas listrik elektroplating

1. Struktur pipa vakum dan bagian penyegelan statis (flensa, cincin penyegel, dll.) Pada peralatan produsen pelapis listrik vakum harus memenuhi persyaratan GB/T6070.

2. Produsen pelapis vakum harus memasang alat pengukur vakum pada pipa vakum rendah dan vakum tinggi dan ruang pelapis vakum untuk mengukur tingkat vakum masing-masing bagian. Ketika diketahui medan listrik mengganggu pengukuran, perangkat pelindung medan listrik harus dipasang di port pengukuran.

3. Jika pompa utama yang digunakan oleh peralatan adalah pompa difusi, perangkap uap oli harus dipasang di sisi saluran masuk udara pompa.

4. Ruang pelapis peralatan harus dilengkapi dengan jendela observasi dan perangkat penyekat. Jendela observasi harus dapat mengamati kondisi kerja sumber pengendapan dan bagian penting lainnya.

5. Desain sumber pengendapan pelapisan ion harus meningkatkan laju ionisasi selama proses pelapisan sebanyak mungkin, meningkatkan tingkat penggunaan bahan pelapis, cukup sesuai dengan kekuatan sumber pengendapan, dan mengatur posisi pengendapan secara wajar sumber di badan ruang vakum.

6. Atur alat pemanas secara wajar. Secara umum, struktur dan tata letak pemanas harus membuat kenaikan suhu benda kerja berlapis menjadi seragam dan konsisten.

7. Penahan benda kerja harus diisolasi dari badan ruang vakum, dan desain penahan benda kerja harus membuat lapisan film benda kerja seragam.

8. Peralatan pelapis ion umumnya harus memiliki bias negatif benda kerja dan catu daya pengeboman ion. Catu daya pengeboman ion harus memiliki perangkat untuk menekan pelepasan abnormal untuk mempertahankan operasi yang stabil.

9. Ukuran resistansi isolasi antara bagian-bagian ruang vakum yang terhubung ke potensial berbeda sesuai dengan 4.4.6 dalam GB/T11164-1999

www.superbheater.com