Mesin pelapis vakum menggunakan catu daya frekuensi tinggi, dan kapasitor yang kuat ditambahkan ke loop.
Tinggalkan pesan
Mesin pelapis vakum menggunakan catu daya frekuensi tinggi, dan kapasitor yang kuat ditambahkan ke loop.
Untuk mengatasi masalah ini, sputtering reaktif magnetron ditemukan. Yaitu menggunakan target logam, menambahkan argon dan gas reaktif seperti nitrogen atau oksigen. Ketika target logam mengenai bagian tersebut, ia bergabung dengan gas reaktif untuk membentuk nitrida atau oksida karena konversi energi.
Sangat mudah untuk menggerutu logam dan paduan dengan sumber target magnetron, dan pengapian dan sputtering nyaman. Ini karena target (katoda), plasma, dan ruang vakum dari bagian yang tergagap dapat membentuk sirkuit. Tetapi jika isolator tergagap-gagap seperti keramik, rangkaiannya putus. Jadi orang menggunakan catu daya frekuensi tinggi, dan menambahkan kapasitor yang kuat ke loop. Dengan cara ini, bahan target menjadi kapasitor di sirkuit isolasi.
Untuk meningkatkan tingkat pemanfaatan bahan target, mesin pelapis vakum dapat menggunakan medan magnet yang berputar
Interaksi antara medan magnet dan elektron digunakan untuk membuat elektron berjalan dalam bentuk spiral di dekat permukaan target, sehingga meningkatkan kemungkinan elektron mengenai gas argon untuk menghasilkan ion. Ion yang dihasilkan mengenai permukaan target di bawah pengaruh medan listrik untuk menyemburkan target. Dalam perkembangan beberapa dekade terakhir, magnet permanen telah diadopsi secara bertahap, dan magnet koil jarang digunakan. Terlepas dari keseimbangan atau ketidakseimbangan, jika magnet tidak bergerak, karakteristik medan magnetnya menentukan bahwa tingkat pemanfaatan target umum kurang dari 30 persen. Untuk meningkatkan tingkat pemanfaatan bahan target, medan magnet yang berputar dapat digunakan. Tetapi memutar medan magnet membutuhkan mekanisme putaran, dan pada saat yang sama kecepatan sputtering berkurang.
www.superbheater.com
