Sistem Vacuum Coater Magnetron Sputtering

Sistem Vacuum Coater Magnetron Sputtering

Dalam sistem sputtering magnetron, magnet kuat 100-1000 Gauss ditempatkan di belakang target katoda, dan ruang vakum diisi dengan gas inert (Ar) dengan tekanan 011-10 Pa sebagai pembawa gas memulangkan. Di bawah aksi tegangan tinggi, atom Ar terionisasi menjadi Ar plus ion dan elektron. Dalam proses percepatan dan terbang ke substrat, elektron dipengaruhi oleh medan magnet yang tegak lurus terhadap medan listrik, yang membuat elektron dibelokkan dan diikat di area plasma yang dekat dengan permukaan target. Ini bergerak maju sepanjang permukaan target dengan cara sikloid, dan bertabrakan dengan atom Ar terus menerus selama gerakan, mengionisasi sejumlah besar ion Ar plus.

Kekerasan yang sangat tinggi dan ketahanan aus dari pelapis vakum

1. Karena bahan pelapis pada permukaan memiliki kekerasan dan ketahanan aus yang sangat tinggi, dibandingkan dengan karbida semen yang tidak dilapisi, karbida semen yang dilapisi memungkinkan kecepatan pemotongan yang lebih tinggi, sehingga meningkatkan efisiensi pemrosesan; Secara signifikan meningkatkan daya tahan alat pada kecepatan potong yang sama.

2. Karena koefisien gesekan antara bahan pelapis dan bahan yang akan diproses kecil, gaya potong bilah yang dilapisi berkurang sampai batas tertentu dibandingkan dengan bilah yang tidak dilapisi.

3. Saat bilah yang dilapisi diproses, kualitas permukaan yang diproses lebih baik.

4. Karena kinerja komprehensif yang baik, bilah yang dilapisi memiliki keserbagunaan yang lebih baik. Kelas blade yang dilapisi memiliki berbagai aplikasi.

Pompa molekul pelapis vakum dan cryopump sebagai pompa utama

Vakum bebas minyak Xiyong menggunakan pompa molekuler dan pompa cryogenic sebagai pompa utama, dan karakteristiknya terutama terkonsentrasi karena dapat terus memompa udara dalam jumlah besar, dan dapat memperoleh vakum ultra-tinggi yang bersih dan bebas minyak. Dan sistem memiliki waktu mulai yang cepat dan waktu berhenti pompa yang singkat. Namun, sistem pemompaan gas berat lebih cepat daripada pemompaan gas ringan, dan kecepatan pemompaan jenis uap air relatif lambat. Ketika sejumlah besar gas melewati pompa, kecepatan pemompaan akan turun dengan cepat.

www.superbheater.com